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RWD 雙臂晶圓機器人
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特徵
軟硬體垂直整合優勢,並且採用高精密,高剛性直驅馬達,重複精度達±0.02mm,迴轉半徑小,空間使用率高。

應用
適用於半導體產業(晶圓取放)、光電產業(小型面板、小型太陽能板)、LED產業(藍寶石基板、膠環)等取放設備。
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